凈化車間對溫濕度的控制決取于與中央空調廠房普通生產區域差異之處，它不僅需要滿足生產者（員工）的舒適感，而且還需兼顧生產工藝及產品特性的要求。在滿足加工工藝的條件下，還應該考慮到人的舒適感。因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種車間不宜超過25度。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55%時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故，相對濕度在50%時易生銹。下面我們來看常見凈化車間對溫濕度有要求的工藝。

以下示例為我們常見領域應用的無塵車間溫濕度要求：

示例一（電子行業制造）

       在電子制造領域生產區最重要的環節是防靜電，這將對電子產品產生不利影響并降低產品的產量，對產品造成短路甚至造成員工導電暈倒事故。故而電子行業凈化車間的相對濕度不應低于30%，為了減少靜電的產生，凈化車間的抗靜電區域的相對濕度不低于50%，過于干燥的空氣中易粉塵飛揚，電子行業凈化車間無特殊要求的情況下，溫度控制在23 ±2℃左右，相對濕度控制在55±5%RH之間，在這種生產環境下，人們感覺舒適，靜電也消失了。

示例二（大規模集成電路）

       大規模集成電路生產的光刻曝光工藝中，作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數的差要求越來越小。直徑100 um硅片，溫度上升1度，就引起了0.24um線性膨脹，所以必須有±0.1度的恒溫，同時要求濕度值一般較低，因為人出汗以后，對產品將有污染，特別是怕鈉的半導體車間，這種無塵車間不宜超過25℃。濕度過高產生的問題更多。相對濕度超過55% RH時，冷卻水管壁上會結露，如果發生在精密裝置或電路中，就會引起各種事故。相對濕度在50% RH時易生銹。

示例三 （精密儀器）

　　在精密機械加工和計量等場合，為了防止因熱膨脹而引起的誤差，必須使工件保持一定的溫度。工件溫度的允許波動幅度應根據加工精度決定。

　　例如，在恒溫室里對一根長500mm的標準尺刻線，工藝允許線間公差為2um，其中1um為尺溫變化所引起的形變誤差，另1um為加工與量測誤差。1um折合尺溫變化量＝0.20C[a為尺線膨脹系數，取10／um／(m/K)；l為尺長，m]，故工件溫度變化需在以內。但由于工件測量儀器等都有一定的熱惰性，空氣溫度的波動傳人工件后，就要衰減。在設計恒溫系統時，一般總是以恒定環境空氣溫度為依據，故相應的環境溫度精度可比工件允許的溫度精度低一些。

　　因此，在確定恒溫室參數和選擇自動控制時，必須考慮工件恒溫恒濕車間、圍護結構、空氣處理設備和自控系統之間的動態特性。

示例四（生物制藥）

       溫度是外界環境中影響制劑穩定的重要因素之一。一般來說，溫度升高，藥物的降解速度增加,而且溫度的變化對制劑穩定性影響較大，特別是生物制品，對熱非常敏感。因此，藥物生產車間不僅要嚴格控制室內溫度范圍，還需盡量保證較小的溫度波動。?相對濕度也是影響制劑穩定的重要因素，對于固體制劑而言，空氣中的水分可在 其表面形成膜，成為分解反應發生的條件，而降解反應的速度與環境的相對濕度成正比。另外，相對濕度對藥品生產的重要性還表現在高濕度時生產環境易長霉菌而造成對藥物的污染，當相對濕度達到60%以上藥品就可長霉，相對濕度80%以上時，無論溫度高低，藥品基本都要長霉。

藥物生產車間溫濕度要求

潔凈區（無菌環境）：溫度宜在 20-24℃，相對濕度：45-60%RH；

控制區（無菌環境）：溫度宜在 18-26℃，相對濕度：50-65%RH。

示例五（SMT表面貼裝）

       SMT貼裝車間對溫度和濕度有明確的要求，首先主要是為了錫膏能工作在一個較好的環境 ，溫度會影響錫膏的活性，對于里面所添加的助焊劑的相關溶劑的活性有一定的影響。溫度高會增加其的活性，最終影響絲印貼裝及回流的效果。容易出現虛焊，焊點不光澤等現象。 濕度的大小回引起錫膏在空氣中吸入水氣的多少，如過吸如過多水氣，會使回流時產生氣空，飛漸，連焊等現象。故而SMT恒溫恒濕車間溫濕度標準: 溫度: 24±2℃ 濕度: 50±10%。

       并非所有凈化車間都設計為恒溫恒濕凈化車間嗎？必須根據生產過程的要求設計空調系統的溫度和濕度。

示例六（食品行業及保健食品）

       食品/保健品車間對對生產潔凈度要求是比較高的，通常為10萬級及萬級部分行業要求千級/百級以上，但同時車間的濕度越低越容易滋生細菌，細菌和其他生物污染(霉菌，病毒，真菌，螨蟲)在相對濕度超過60%的環境中可以活躍地繁殖。一些菌群在相對濕度超過30%時就可以增長。在相對濕度處于40%至60%的范圍之間時，可以使細菌的影響以及呼吸道感染降至最低。如果濕度過高，產品會變質。同時，溫度不宜過高。如果溫度過高，生產者在出汗后會暴露在產品中，這會對產品造成污染并降低產品的質量/產量。

綜合常見領域，我們可總結得出溫濕度對凈化車間的影響有如下幾種：

1、細菌生長; 2、人員的舒適感; 3、出現靜電荷; 4、金屬腐蝕; 5、水汽冷凝; 6、光刻的退化; 7、吸水性。

       凈化車間溫度作為總的原則看，加工精度越來越精細，對溫度波動范圍的要求越來越小。所以無塵車間的溫濕度控制由其生產工藝決定，但其精度同時也要看其房間的大小例如計量室、光柵刻線室、精密儀器制造和裝配車間等。前兩者都為小房間，空調精度(這里主要指溫濕度)要求高；后兩者為較大的生產車間，溫濕精度要求較低。所以其房間大小也會決定恒溫恒濕車間的精度。